日本小金井FRL终端过滤器减压阀

内载线过滤器PLF系列 ●采用多孔中空丝膜滤芯，保证了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。 ●过滤精度高、小型流量大、寿命长 ●是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器 过滤精度 处理空气量 配管连接口径 0.01μm 50～100 l/min M5.Rc1/8 净化管路过滤器CLF系列 ●滤芯是PTFE制膜和PTFE制不织布构成的双重构造确保了本产品的安定的性能。可以100%地捕捉0.01μm的微粒子 ●使用的部件在无尘清洁室里进行了精密清洗。附着的微粒子极少，能立即投入使用。 过滤精度 处理空气量 配管连接口径 0.01μm 100 l/min Rc1/8.Rc1/4 不锈钢调压阀RS系列 ●于液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中的携带气体压力控制、喷气压力控制、净化空气、天然气体压力控制等，还有需要耐腐蚀性的食品相关工业及无需润滑油、机油的生产线。 压力设定 MPa 处理空气量 配管连接口径 0.05～0.7 0～ 800 l/min M5～Rc1/4 精密不锈钢调压阀PRS系列 ●于液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中的携带气体压力控制、喷气压力控制、净化空气、天然气体压力控制等，能进行高精度的设定（感度0.001MPa） 压力设定 MPa 处理空气量 配管连接口径 0.01～0.25 0～ 250 l/min M5～Rc1/4