日本小金井定量吐出泵

	泵
泵 （FPD用电动CT泵） 在要求均一涂膜的液晶、PDP、有机EL等基板用涂胶对应电动泵。高信赖的CT泵构造更加进化、能够控制定流量。zui大吐出量：３０ml、６０ml、１００ml、２００ml、可以根据顾客基板的尺寸结合用途选择泵。

泵 （电动CT泵） 对应微细化半导体晶片的下一代电动泵。世界（注）CT泵的构造开发、低发尘、除泡性好、以简单的构造实现了高精度。

泵 （电动波纹管泵） 使用方便控制的步径马达。

泵 （空压波纹管泵） 气缸驱动的低成本、低价格泵。

泵 （泵控制器） 控制电动CT泵、电动波纹管泵的控制器单元。

泵 （FPD用电动CT泵） 电动CT泵F-EPT系列F-EPT30型 ●于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。 ●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司 zui大吐出压力 吐出量 ml 吐出. 输入流量 ml/s 0.05MPa 3～30 0.05～3 电动CT泵F-EPT系列F-EPT60型 ●于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。 ●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司 zui大吐出压力 吐出量 ml 吐出. 输入流量 ml/s 0.05MPa 6～60 0.05～5 电动CT泵F-EPT系列F-EPT100型 ●于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。 ●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司 zui大吐出压力 吐出量 ml 吐出. 输入流量 ml/s 0.05MPa 10～100 0.05～5 电动CT泵F-EPT系列F-EPT200型 ●于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。 ●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司 zui大吐出压力 吐出量 ml 吐出. 输入流量 ml/s 0.05MPa 20～200 0.1～15 电动CT泵F-EPT系列F-EPT300型 ●于液晶、PDP、有机EL机等基板用狭缝涂布机对平均涂抹的要求。 ●使用流体：光刻胶、纯水、药液（可燃性物质不可）※选定，导入时，请事前联络、咨询本公司 zui大吐出压力 吐出量 ml 吐出. 输入流量 ml/s 0.05MPa 30～300 0.1～12